독자개발 적외선 온도센서 활용 비접촉 체온계, 美 FDA 공식 인정
나노종합기술원이 국내 중소기업과 함께 비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서 양산에 성공했다고 17일 밝혔다.
코로나19 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하면서 나노종기원은 ㈜템퍼스와 함께 체온계용 적외선 온도센서 대량양산 기술 개발을 추진해 왔다.
이번에 양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 국내 최초로 반도체 호환공정을 적용해 높은 수율 확보가 가능하고 공정단순화로 가격경쟁력을 획기적으로 높인 것이 가장 큰 장점이다.
마이크로 적외선 센서는 그동안, 미국, 독일 등 해외 선진국이 사실상 독점해 왔다. 하지만 이번 개발을 통해 MEMS(미세기계전자시스템)기반 공정에 CMOS(반도체 제조공정)을 접목, 생산성을 획기적으로 향상시켜 경쟁사 대비, 감도가 3~5배 우수한 특성을 확보했다.
이와 함께 나노종기원은 최근 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아 본격적인 미국 수출을 앞두게 됐다고 설명했다.
㈜템퍼스 신백규 대표는 “적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통하여 제품양산과 다양한 어플리케이션의 확대가 가능하게 돼 국내·외 비접촉 체온계시장을 적극 공략할 계획”이라고 밝혔다.
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