한국화학연구원이 탄소중립을 위한 친환경 산업가스 개발 업무협약을 체결했다.
이날 체결된 협약은 2건으로 포스코·RIST(포항산업과학연구원)와 ‘제철산업 부생가스와 화학원료 생산 기술 개발 업무협약’을, 포스코·RIST, TEMC(티이엠씨) 등 4개 기관과는 ‘반도체 제조 공정용 친환경 식각가스 및 냉매가스 기술 개발’ 업무협약을 체결했다.
첫 번째 업무협약으로 한국화학연구원 화학공정연구본부는 포스코, RIST와 함께 제철산업 부생가스로부터 화학원료를 생산하는 기술 개발에 협력하기로 했다.
제철산업에서 부생으로 발생하는 가스는 일산화탄소, 메탄, 수소, 질소 등을 포함하고 있다. 부생가스는 주로 연료로 사용되는데 이때 온실가스인 이산화탄소가 발생한다. 부생가스를 메탄올, 합성가스 등 유용한 화학원료로 전환하면 이산화탄소 발생량을 획기적으로 줄이고 부가가치를 높일 수 있다.
따라서 화학연은 탄소중립 실현에 기여하기 위해 제철산업 부생가스로부터 일산화탄소를 분리·회수하여 화학원료를 제조할 계획이다. 향후 화학연 화학공정연구본부는 부생가스 활용기술을 개발하고, 포스코는 부생가스 원료 공급을, RIST는 분리기술 개발을 추진할 예정이다.
두 번째 업무협약으로 화학연 화학소재연구본부가 포스코·RIST·TEMC와 함께 반도체·디스플레이를 제조할 때 쓰이는 식각가스 및 냉매가스를 친환경 가스로 제조하는 기술 개발에 협력하기로 했다.
반도체 산업에서 사용하는 식각가스(에칭가스)는 반도체 제조 중 회로의 불필요한 부분을 정교하게 깎아내는 기능을 하는 핵심가스다. 냉매가스는 일반 가정의 냉장고 및 에어컨뿐만 아니라 산업현장에서도 많이 사용되는 가스다. 그러나 현재 사용되고 있는 식각가스와 냉매가스는 지구온난화지수가 높아 친환경 가스 수요가 늘어나고 있다.
국내에서는 친환경 가스 수요 90% 이상을 미국, 일본 등의 수입재에 의존하고 있어 국산화 또한 절실하다.
화학연 불소화학소재공정 국가연구실(N-LAB)은 향후 지구온난화지수가 낮은 친환경 식각가스 및 냉매가스 원천기술을 개발할 계획이다.
식각가스에는 여러 가스가 혼합되어 있는데, 사불화메탄(CF4) 등 불소 화합물이 주를 이루고 있다. 해당 연구실은 30년 이상 불소 화합물 연구역량을 축적한 국가연구실로서, 향후 새로운 친환경 불소계 식각가스 원천기술을 개발할 계획이다.
협약기관인 RIST는 향후 개발 기술의 규모확대(Scale-up) 연구를, 포스코와 TEMC는 가스 생산 및 상용화를 추진한다.
이미혜 원장은 “화학연의 연구역량과 포스코, RIST, TEMC와의 협력을 바탕으로 관련 기술 상용화를 촉진시키고 국가 온실가스 감축 기여를 앞당길 수 있기를 기대한다”고 밝혔다.
