[충청뉴스 박동혁 기자] 단국대학교는 반도체 전문 인력 양성을 위한 ‘DKU 클린룸 센터’를 개소했다고 8일 밝혔다.

단국대에 따르면 클린룸 센터는 죽전캠퍼스 대학원동 6층에 연면적 926㎡로 조성했다.

센터에는 클린룸, 분석계측실, 공정실습실1·2, 가스저장실, 장비분석실, 강의실 등을 구축했다.

이에 따라 설계부터 소자·공정, 테스트·후공정까지 원스톱으로 반도체 이론·실습 교육이 모두 가능해졌다.

센터에는 ▲프로브스테이션 및 반도체칩 특성 평가 장비 ▲고해상도 주사형 원자력 현미경 ▲6인치 웨이퍼 UV 노광장비 ▲고에너지 전자빔 박막 증착기 ▲진공열 증착기 ▲급속 열처리 시스템 ▲스퍼터 시스템 ▲반응성 이온 식각 시스템 등을 도입했다.

단국대는 이를 통해 전공·비전공자, 기업 재직자를 위한 산학협력 현장 실무형 교육과정을 운영한다. 특히 기업들은 센터의 기술·장비를 통해 설계부터 후공정까지 최적화된 기술지원을 받고 공동연구에도 참여한다.

단국대는 2027년까지 3단계에 걸쳐 클린룸을 고도화하고, 70여 종 이상의 공정·계측 설비를 구축해 24시간 운영한다. 다음 달에는 기업·연구기관을 위한 클린룸 센터 장비 예약시스템을 오픈한다.

안순철 단국대 총장은 “국내 대학 최고 수준의 반도체 클린룸을 통해 현장 맞춤형 반도체 인재 양성에 박차를 가할 계획”이라며 “반도체 메가 클러스터가 조성되는 경기 남부권에 지·산·학·연을 잇는 차세대 반도체 R&D 허브로 발전시킬 것”이라고 밝혔다.

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