수준·수요별 소부장 맞춤형 인재양성 교육프로그램 개설
한국표준과학연구원(KRISS)이 원천기술 개발부터 전문인력 양성까지 국내 소재·부품·장비(소부장)의 고도화를 이끌고 있다.
표준연은 13일 온라인 기자간담회를 통해 지난 2년간 소부장 연구성과와 향후 계획을 설명했다. 원천기술 개발과 반도체용 가스 소재 국산화, 연구장비 인력양성 등이 대표적이다.
우선 반도체측정장비팀은 수출규제 문제 이후 지난 5월 플라즈마 변수를 직접 측정할 수 있는 밀도측정 기술을 세계최초로 개발했다. 이는 웨이퍼 공정결과에 직접적인 영향을 주는 플라즈마 밀도값 및 균일도를 실시간으로 측정할 수 있으며, 측정불확도 2% 이내로 세계최고 수준이다.
강상우 첨단측정장비연구소장은 “인공지능, 빅데이터를 활용한 새로운 측정기술 도입이 요구되는 상황”이라며 “핵심 측정장비의 원천기술 개발이 필요하며, 더욱 적극적으로 기술개발에 협력할 것”이라고 말했다.
KRISS 가스분석표준그룹은 반도체용 가스 소재 국산화를 이끌며 반도체 산업에 대한 다양한 품질평가와 기술 분석을 제공한다.
반도체 공정에서 사용하는 가스 분석장비의 성능평가, 프리커서의 물성 분석, 진공펌프 배관의 막힘 등과 같은 공정상 애로사항 자문 등을 지원하고 있다.
이상일 화학바이오표준본부장은 “반도체용 가스의 품질평가를 순차적으로 진행하고, 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최할 예정”이라며 “이를 통해 국내 가스 소재 생산 및 보급업체의 가스 품질향상에 기여할 것”이라고 밝혔다.
KRISS는 국내 R&D 인력, 특히 SW개발 전문인력 등이 매우 부족한 상황을 타개하기 위해 ▲국산연구장비활용랩 ▲오픈 이노베이션랩 ▲연구장비 SW개발 교육 ▲‘KRISS-연세대학교 학연교수(KRISS-YU 융합반도체 협동과정)’ 제도를 신설했으며 지속적으로 확대할 계획이다.
특히 국산연구장비에 대한 연구자들의 인식개선과 활용도를 높일 수 있도록 지난 1월부터 ‘국산연구장비활용랩’을 개소해 운영 중이며 중소기업과 연구자들을 위해 무상으로 서비스를 제공·교육한다.
13일 새롭게 개소한 ‘오픈 이노베이션랩’은 KRISS 자체 개발장비를 설치해 시연할 수 있도록 지원하는 개방형 연구실로 다양한 분야 장비 개발자들의 소통 공간으로 활용돼 융합연구 촉진과 실험실 개발장비의 상용화에 기여할 전망이다.
박현민 원장은 “세계 최고 수준의 측정표준·측정과학기술 역량과 인프라로 국산 장비 성능검증, 측정연구장비 개발, 맞춤형 인재양성까지 아우르는 전주기 지원을 통해 앞으로도 대한민국 소부장 경쟁력 강화에 도움이 되겠다”라고 밝혔다.
