[충청뉴스 이성현 기자] 한국핵융합에너지연구원은 일본 나고야대학교 저온플라즈마과학연구센터(CLPS)와 저온 플라즈마 기술 교류 워크숍을 개최했다고 6일 밝혔다.
이번 워크숍은 정밀 계측 기술과 데이터 교차 검증을 중심으로 협력 범위를 구체화하는 데 초점을 맞췄다.
양 기관은 ▲정밀 플라즈마 진단 ▲플라즈마–재료 상호작용 ▲반도체 공정 가스 및 반응 메커니즘 연구를 중심으로 공동 연구 방향을 설정했다.
특히 서로 다른 장치 환경에서 확보한 플라즈마 데이터를 비교·검증하는 협력체계를 마련해 계측의 정확성과 신뢰도를 높이기로 했다.
양 기관은 2024년 1월 연구 협력 협약(MoU) 체결 이후 지속적인 교류를 이어왔다. 2025년에는 한국 연구진이 일본 나고야대학교를 방문해 공동 실험을 수행하며 플라즈마를 보다 정밀하게 측정·제어할 수 있는 계측 기술의 공동 활용 기반을 마련했다.
플라즈마 계측·제어 기술은 반도체·디스플레이 공정의 미세화와 함께 중요성이 커지고 있으며, 고온·고밀도 플라즈마를 안정적으로 운전해야 하는 핵융합 연구에서도 핵심 기반 데이터로 활용된다.
양 기관은 향후 공동 실험과 데이터 교류를 확대하고, 플라즈마 진단 기기의 측정 기준과 분석 절차에 대한 공동 표준화를 추진해 계측 신뢰도를 높여 나갈 계획이다.
이를 통해 핵융합 장치 운전의 안정성과 예측 정확도를 향상시키는 한편, 산업 현장에서의 플라즈마 공정 정밀도 향상에도 기여할 것으로 기대된다.
플라즈마기술연구소 최용섭 소장은 “이번 워크숍은 공동 연구를 구체화하는 계기가 됐다”며 “정밀 플라즈마 진단 기술을 고도화해 산업 경쟁력과 핵융합 연구의 안정성을 함께 높여 나가겠다”고 말했다.
